亚洲AV无码成人精品国产,亚洲天天做日日做天天欢,国产成人高清在线播放,亚洲无线码高清在线观看

行業(yè)百科
行業(yè)百科

離子注入機(jī)

應(yīng)用
    離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備,離子注入是對半導(dǎo)體表面附近區(qū)域進(jìn)行摻雜的技術(shù),其目的是改變半導(dǎo)體的載流子濃度和導(dǎo)電類型。離子注入與常規(guī)熱摻雜工藝相比可對注入劑量、注入角度、注入深度、橫向擴(kuò)散等方面進(jìn)行精確的控制,克服了常規(guī)工藝的限制,提高了電路的集成度、開啟速度、成品率和壽命,降低了成本和功耗。離子注入機(jī)廣泛用于摻雜工藝,可以滿足淺結(jié)、低溫和精確控制等要求,已成為集成電路制造工藝中必不可少的關(guān)鍵裝備。
原理
    離子注入機(jī)由離子源、質(zhì)量分析器、加速器、四級透鏡、掃描系統(tǒng)和靶室組成,可以根據(jù)實(shí)際需要省去次要部位。離子源是離子注入機(jī)的主要部位,作用是把需要注入的元素電離成電子,決定要注入離子的種類和束流強(qiáng)度。離子源直流放電或高頻放電產(chǎn)生的電子作為轟擊粒子,當(dāng)外來電子的能量高于原子的電離電位時(shí),通過碰撞使元素發(fā)生電離。碰撞后除了原始電子外,還出現(xiàn)正電子和二次電子。正離子進(jìn)入質(zhì)量分析器選出需要的離子,再經(jīng)過加速器獲得較高能量,由四級透鏡聚焦后進(jìn)入靶室,進(jìn)行離子注入。
其在國內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀
    目前,我國8英寸100納米大角度離子注入機(jī)項(xiàng)目已成功實(shí)施,現(xiàn)在正著手研發(fā)下一代65納米低能大束流離子注入機(jī),同時(shí),開發(fā)與之配套的工藝裝備。

国产成人18黄网站在线观看| 麻豆国产AV剧情偷闻女邻居内裤| 丁香花在线观看免费观看图片| AV无码东京热亚洲男人的天堂| 又爽又色禁片1000视频免费看| 国产SM重味一区二区三区| 亚洲VA无码VA在线VA天堂 | 99在线精品视频观看免费| 免费无码又爽又刺激网站直播| 亚洲AV无码一区二区二三区| 99久热RE在线精品99RE8热视频| jizzjizz国产精品久久| 少妇的肉体aa片免费| 狠狠躁夜夜躁人人爽天天不卡软件| 欧美午夜特黄aaaaaa片| 中文字幕乱码一区二区免费| 成全动漫视频在线观看免费高清| 色屁屁WWW影院免费观看| 精品伊人久久大香线蕉综合| 中文有码亚洲制服av片| 国产av天堂无码一区二区三区| 久久九九久精品国产综合一千收藏| 精品一区二区三区无码视频| 久久久精品人妻一区二区三区 | AV无码天堂一区二区三区| 国产人妖视频一区二区| 97久久久精品综合88久久| 精品国产_亚洲人成在线| 亚洲制服丝袜一区二区三区| 无码AV岛国片在线播放| 强行无套内谢大学生初次| 性欧美大战久久久久久久| 日韩av影院在线观看| fc2免费人成在线视频| 青春草在线视频免费观看| 亚洲成a人片在线观看无码| 特级欧美AAAAAAA免费观看| 国内精品自线在拍精品| 色妞AV永久一区二区国产AV| 欧美精品视频在线观亚洲| 亚洲av永久无码天堂网毛片|