納米元件創(chuàng)新產學聯(lián)盟
「納米元件創(chuàng)新產學聯(lián)盟」由國家納米元件實驗室成立,目的是為在未來5~10年進入次10納米后矽時代的半導體產業(yè)培養(yǎng)急需的高階人才。
在22日聯(lián)盟成立大會中,出席者包括國科會納米國家型科技計畫總主持人吳重雨、微電子學門召集人曾俊元、中研院院士胡正明、旺宏總經(jīng)理盧志遠、臺積電副總暨技術長孫元成、美商應用材料(Applied Materials)臺灣區(qū)總經(jīng)理余定陸、科林研發(fā)(Lam Research)亞太區(qū)總裁廖振隆等。
半導體大廠旺宏也捐贈蝕刻機臺給國家納米元件實驗室,在聯(lián)盟中與學界共同開發(fā)10納米以下的存儲器元件技術;目前國家納米元件實驗室有一條6寸生產線,以及一條簡易型的8寸線,實驗室在2009年研發(fā)出16納米SRAM雛形,此技術可延伸至5納米到7納米。