2003年
7月 離子源系統(tǒng)獲得了丹東市高新技術(shù)產(chǎn)品
12月 順利的通過ISO9001：2000質(zhì)量管理體系認證
2004年
2月 離子源系列產(chǎn)品獲得了高新技術(shù)產(chǎn)品證書
7月 NV6200離子源系統(tǒng)被立項為科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新基金的重點項目
10月 被授為丹東市民營科技企業(yè)
2005年
3月 離子源系列產(chǎn)品入選中國500******新產(chǎn)品
4月 離子源系列產(chǎn)品通過了遼寧省新產(chǎn)品鑒定
5月 NV6200離子源系統(tǒng)獲得國家火炬計劃項目證書
5月 離子源系統(tǒng)通過了遼寧省科技成果鑒定
8月 獲得省創(chuàng)信資金的扶持
10月 被評為丹東市高新技術(shù)企業(yè)
2006年
1月 GSD系列產(chǎn)品獲得丹東市高新技術(shù)產(chǎn)品稱號
4月 離子源系列產(chǎn)品列為國家重點新產(chǎn)品
4月 NV6200離子源系統(tǒng)獲得丹東市科學(xué)技術(shù)進步二等獎
9月 9500系列產(chǎn)品獲得丹東市高新技術(shù)產(chǎn)品稱號
12月 獲得遼寧省科學(xué)技術(shù)進步三等獎
12月 NV-6200離子源系統(tǒng)創(chuàng)信基金項目通過國家驗收
2007年
1月 獲得丹東市優(yōu)秀民營高新技術(shù)企業(yè)
4月 順利通過ISO9001：2000質(zhì)量管理體系認證
7月 被評為遼寧省高新技術(shù)企業(yè)
7月 NV-6200 離子源系統(tǒng)獲遼寧省科技成果轉(zhuǎn)化項目認定
12月 GSD系列產(chǎn)品被評為遼寧省優(yōu)秀新產(chǎn)品
2008年
7月 獲遼寧省中小企業(yè)廳專精特新產(chǎn)品金獎
11月 GSD離子源產(chǎn)業(yè)化項目獲科技部國家火炬計劃項目立項
2010年
9月 微波等離子體離子源系統(tǒng)獲遼寧省科技型中小企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新資金立項
2014年
1月 通過ISO9001:2008質(zhì)量管理體系認證
2015年
1月 成為中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會會員
